起草单位: 电子工业部第46研究所
起草人: 何秀坤、 李光平、 汝琼娜、 段曙光
本标准适用于锗单晶中间隙氧含量的测定,测量范围为10ppba至间隙氧在锗单晶中的最大固溶度
最后更新时间 2025-08-29