现行 SJ 20518-1995
压电器件用五氧化二钽薄膜规范 压电器件用五氧化二钽薄膜规范 Specification for Ta2O5 films for use in piezoelectric devices
发布日期：1995-05-25
实施日期：1995-12-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： G13化工 - 无机化工原料 - 氧化物、单质、                                                                           
ICS分类：
研制信息

起草单位： 电子工业部第二十六研究所、 中国电子技术标准化研究所

起草人： 陈运祥、 李治成、 杨龙其、 刘筠

标准简介

本规范规定了五氧化二钽压电晶体膜的要求、质量保证规定和检验方法等。本规范适用于平面磁控反应性溅射法制备的M点群的五氧化二钽压电晶体膜

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最后更新时间 2025-08-29