本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于由天然水晶作原料,应用于半导体工业的透明石英玻璃管。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准
最后更新时间 2025-08-29