现行 SJ/T 11079-1996
掩模对准曝光机通用技术条件 掩模对准曝光机通用技术条件 General specification of mask alignment and exposure system
发布日期:1996-11-20
实施日期:1997-01-01
分类信息
发布单位或类别: 中国 行业标准-电子
CCS分类: N38仪器、仪表 - 光学仪器 - 光学设备
ICS分类:
标准简介

本标准规定了掩模对准曝光机的术语、技术要求、试验方法,检验规则等,还对供货作了规定。本标准仅适用于接触曝光以及同时具备接触曝光和接近曝光功能的掩模对准曝光机

相似标准/计划/法规
SJ/T 10274-1991
掩模对准曝光机测试方法
Test methods of mask alignment and exposure system
1991-11-12
SJ/T 31119-1994
掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for mask alignment and exposure systems
SJ 20711-1998
分步投影曝光机通用规范
General specification for step and repeat exposure systems
1998-03-18
SJ/T 10312-1992
电子束暴光机通用技术条件
General specification of electron beam exposure system
1992-06-15
GOST 12.4.244-2013
Система стандартов безопасности труда. Средства индивидуальной защиты органов дыхания. Полумаски и четвертьмаски из изолирующих материалов. Общие технические условия
职业安全标准体系 呼吸保护装置 半面具和四分之一面具隔离 一般规格
2013-11-14
GOST 12.4.293-2015
Система стандартов безопасности труда. Средства индивидуальной защиты органов дыхания. Маски. Общие технические условия
职业安全标准体系 呼吸保护装置 面具 一般规格
2015-06-18
GOST 12.4.294-2015
Система стандартов безопасности труда. Средства индивидуальной защиты органов дыхания. Полумаски фильтрующие для защиты от аэрозолей. Общие технические условия
职业安全标准体系 呼吸保护装置 过滤半面罩以防止颗粒物 一般规格
2015-03-27
GOST 12.4.300-2015
Система стандартов безопасности труда. Cредства индивидуальной защиты органов дыхания. Полумаски фильтрующие с клапанами вдоха и несъемными противогазовыми и (или) комбинированными фильтрами. Общие технические условия
职业安全标准体系 呼吸保护装置 阀门过滤半面罩 以防止气体和/或气体和颗粒物 一般规格
2015-05-29
GOST EN 1827-2012
Система стандартов безопасности труда. Средства индивидуальной защиты органов дыхания. Полумаски из изолирующих материалов без клапанов вдоха со съемными противогазовыми, противоаэрозольными или комбинированными фильтрами. Общие технические условия
职业安全标准体系 呼吸保护装置 半口罩无吸入阀和可分离的过滤器 仅防止气体或气体和颗粒或颗粒 一般规格
2012-11-15
对准曝光

最后更新时间 2025-08-29