起草单位： 电子工业部第四十六研究所
起草人： 任殿胜、 严如岳、 华庆恒、 刘咏梅、 段曙光
1.1 本标准规定了X射线光电子能谱仪信背比、分辨力、短期电压稳定性、传输特性及能量坐标线性等工作特性的检查过程。1.2本标准适用于能量通道为数字计数存储的谱仪。1.3 本标准旨在对仪器制造厂商提出的校准步骤进行补充。不能作为不同仪器之间进行性能比较的依据。只能作为某一谱仪工作特性的自治性检查。1.4 使用本标准可能涉及有害的操作、设备及物质。但本标准没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本标准前，应该制定适当的安全与保健措施，并决定本标准的应用范围
最后更新时间 2025-08-29