作废 SJ/T 11131-1997
蒸发镀膜设备基本参数系列 蒸发镀膜设备基本参数系列 Basic parameter series of evaporation plating equipment
发布日期：1997-09-02
实施日期：1998-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
ICS分类： 31.020电子学 - 电子元器件综合
研制信息

起草单位： 成都南光实业股份有限公司

起草人： 陈华先、 谭丽、 康开丽

标准简介

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备

相似标准/计划/法规
镀膜基本参数蒸发设备

最后更新时间 2025-08-29