作废 SJ/T 11181-1998
净化涂胶台通用规范 净化涂胶台通用规范 General specification for resist-coating stage with purified room
发布日期：1998-03-11
实施日期：1998-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
ICS分类： 31.020电子学 - 电子元器件综合
研制信息

起草单位： 电子工业部半导体专用设备研究所

起草人： 赵怀科、 黄燕

标准简介
相似标准/计划/法规
涂胶净化

最后更新时间 2025-08-30