作废 SJ 20717-1998
氧化锌压电薄膜规范 氧化锌压电薄膜规范 Specification for ZnO piezoelectric films
发布日期：1998-03-18
实施日期：1998-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L21电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 石英晶体、压电元件
ICS分类：
研制信息

起草单位： 电子工业部第二十六研究所起草。本规施

起草人： 陈运祥、 毕四英、 李治成、 贾子福、 王玉功

标准简介

本规范规定了氧化锌压电薄膜的要求、质量保证规定和交货准备等。 本规范适用于声体波微波延迟线及氧化锌(ZnO)、硅(Si)声表面波卷积器、存贮相关器使用的氧化锌压电薄膜

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最后更新时间 2025-08-30