起草单位: 电子工业部第四十六研究所
起草人: 张忆延、 段曙光、 刘峰
本规范规定了军用CMOS电路用抗辐射硅单晶抛光片的要求,质量保证规定和交货准备等。 本规范适用于军用CMOS电路用直径为50.8 mm、76.2 mm和100 mm的抗辐射硅单晶抛光片
最后更新时间 2025-08-30