作废 JB/T 8945-1999
真空溅射镀膜设备 真空溅射镀膜设备 Vacuum sputtering coating plant
发布日期：1999-07-12
实施日期：2000-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-机械
CCS分类： J78机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备
ICS分类： 23.160流体系统和通用件 - 真空技术
标准简介
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最后更新时间 2025-08-30