本标准适用于对半导体器件、集成电路用原材料进行氧化、扩散和其他热处理的扩散炉。本标准未做明确规定的一般技术要求，应按SJ 142-78《电子工业专用设备总技术条件》执行。各类扩散炉的特殊要求，在相应的产品标准中予以规定
最后更新时间 2025-08-27