现行 SJ 20843-2002
砷化镓单晶AB微缺陷密度定量检验方法 砷化镓单晶AB微缺陷密度定量检验方法 Quantitative determination of AB microscopic defect density in gallium arsenide single crystal
发布日期：2002-10-30
实施日期：2003-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料、                                                                       
ICS分类：
研制信息

起草单位： 信息产业部电子第四十六研究所

起草人： 周智慧、 段曙光、 章安辉

标准简介

本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷密度的定量检验方法。本标准适用于晶向的砷化镓单晶AB微缺陷密度的测量

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最后更新时间 2025-08-30