被代替 JJF 1100-2003
平面等厚干涉仪校准规范 平面等厚干涉仪校准规范 Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
发布日期：2003-05-12
实施日期：2003-11-12
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家计量技术规范
CCS分类： A52综合 - 计量 - 长度计量
ICS分类：
研制信息

归口单位： 全国几何量工程参量计量技术委员会

起草单位： 中国测试技术研究院

起草人： 冉庆、 陈永康

标准简介

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准，不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准

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最后更新时间 2025-08-30