归口单位： 全国真空技术标准化技术委员会
起草单位： 北京北仪创新真空技术有限责任公司、 沈阳真空技术研究所
起草人： 周毅、 陈月增、 王砚龄、 李春影
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。 本标准适用于极限压力在5×10^(-4)pa～5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备
最后更新时间 2025-08-30