作废 JB/T 10439-2004
单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉 Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by czochralski method
发布日期：2004-03-12
实施日期：2004-08-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-机械
CCS分类： K61电工 - 电气设备与器具 - 工业电热设备
ICS分类： 25.180.10工业炉 - 电炉
研制信息

归口单位： 全国工业电热设备标准化技术委员会

起草单位： 西安理工大学晶体生长设备研究所

起草人： 陈巨才

标准简介

本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。　　本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉

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最后更新时间 2025-08-30