归口单位: 全国几何量工程参量计量技术委员会
起草单位: 中国科学院光电技术研究所
起草人: 耿丽红、 匡龙、 曹学东、 范天泉
本规程适用于分辨力为0.01μm~1μm,测量范围至100mm的光栅式测微仪的首次检定、后续检定和使用中的检验
最后更新时间 2025-08-30