现行 JJG 661-2004
平面等倾干涉仪检定规程 平面等倾干涉仪检定规程 Verification Regulation of Flatness Interferometer with Isoclinc Circle Fringe
发布日期:2004-09-21
实施日期:2005-03-21
分类信息
研制信息

归口单位: 全国几何量工程参量计量技术委员会

起草单位: 中国测试技术研究院

起草人: 冉庆、 陈永康、 张成悌、 曹箭

标准简介

本规程适用于平面等干涉仪的首次检定、后续检定和使用中的检验

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干涉仪检定平面

最后更新时间 2025-08-30