起草单位: 中国航天标准化研究所
起草人: 闫荣鑫、 吴孝俭、 王振武、 张京豪
本标准规定了氦质谱仪背压检漏的设备、环境、安全、人员、试验原理、试验程序的要求。本标准适用于漏率在10-6Pa·m3/s~10-10Pa·m3/s的小型封闭产品的氦质谱背压泄露检测
最后更新时间 2025-08-30