现行 JB/T 10553-2006
真空技术 扩散硅压阻真空计 真空技术 扩散硅压阻真空计 Vacuum technology.Plezoresistive silicon chip vacuum gauge
发布日期：2006-05-06
实施日期：2006-10-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-机械
CCS分类： J78机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备
ICS分类： 23.160流体系统和通用件 - 真空技术
研制信息

归口单位： 全国真空技术标准化技术委员会

起草单位： 沈阳真空技术研究所

起草人： 吴春阳、 苏玉萍

标准简介

本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存。本标准适用于测量压力为（100～1X105）Pa的扩散硅压阻真空计

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最后更新时间 2025-08-30