归口单位: 全国工业电热设备标准化技术委员会
起草单位: 西安理工大学晶体生长设备研究所
起草人: 陈巨才、 赵秦延
本标准规定了对TDR-GY系列液封直拉法高压晶体炉(以下简称高压晶体炉)的各项要求,包括品种规格、技术性能及订购和供货等。本标准适用于液封直拉法拉制Ⅲ-Ⅴ族(或Ⅱ-Ⅵ族)化合物单晶的高压晶体炉
最后更新时间 2025-08-31