现行 SJ 20984-2008
化学气相淀积(CVD)设备通用规范 化学气相淀积(CVD)设备通用规范 General specification for chemical deposition (CVD) equipment
发布日期:2008-04-15
实施日期:2008-06-30
分类信息
研制信息

起草单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人: 胡晓宇、 廖佐升、 范迎新

标准简介

本规范规定了化学气相淀积设备的要求、质量保证规定、交货准备。本规范适用于电子行业中光电子、微电子器件的研制和生产的化学气相淀积设备,其它行业的类似设备也可参照执行

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最后更新时间 2025-08-31