现行 GB/T 29504-2013
300mm 硅单晶 300mm 硅单晶 300mm monocrystalline silicon
发布日期：2013-05-09
实施日期：2014-02-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： H82冶金 - 半金属与半导体材料 - 元素半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 有研半导体材料股份有限公司、 中国有色金属工业标准计量质量研究所、 万向硅峰电子股份有限公司、 宁波立立电子股份有限公司

起草人： 闫志瑞、 孙燕、 卢立延、 张果虎、 楼春兰

标准简介

本标准适用于由直拉法制备的硅单晶，主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13 μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片

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单晶mm

最后更新时间 2025-09-06