归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位： 峨嵋半导体材料研究所、 四川新光硅业科技有限责任公司、 有研半导体材料股份有限公司、 江苏中能硅业科技发展有限公司、 新特能源股份有限公司、 洛阳中硅高科技有限公司
起草人： 詹科、 杨旭、 种娜、 黎亚文、 梁洪、 孙燕、 刘晓霞、 银波、 甘新业、 严大洲
本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅
最后更新时间 2025-09-06