被代替 GB/T 30656-2014
碳化硅单晶抛光片 碳化硅单晶抛光片 Polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

起草单位： 北京天科合达蓝光半导体有限公司、 中国科学院物理研究所

起草人： 陈小龙、 郑红军、 张玮、 郭钰、 刘春俊、 刘振洲

标准简介

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检查规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电阻器件的外延衬底

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最后更新时间 2025-09-06