归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位: 协鑫光电科技(江苏)有限公司、 中国科学院上海光学精密机械研究所、 常州亿晶光电科技有限公司、 江苏吉星新材料有限公司、 新疆紫晶光电技术有限公司
起草人: 刘逸枫、 魏明德、 徐养毅、 杭寅、 吴剑波、 蔡金荣、 赵新俭
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书、订货单(或合同)内容。本标准适用于蓝宝石单晶晶锭,产品可用于制造氮化镓外延薄膜及其他用途的蓝宝石单晶衬底材料(以下简称晶锭)
最后更新时间 2025-09-06