现行 GB/T 31472-2015
X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南 X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南 Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： N26仪器、仪表 - 电工仪器仪表 - 综合测试系统
ICS分类： 17.220.20电学、磁学、电和磁的测量 - 电和磁量值的测量
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 信息产业专用材料质量监督检验中心、 中国电子技术标准化研究院、 苏州晶瑞化学有限公司、 天津中环领先材料技术有限公司

起草人： 李雨辰、 何秀坤、 刘筠、 刘兵、 李翔

标准简介

本标准规定了X射线光电子能谱(XPS)的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术,不适用于其他电子激发系统

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最后更新时间 2025-09-06