现行 GB/T 31470-2015
俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则 Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： N26仪器、仪表 - 电工仪器仪表 - 综合测试系统
ICS分类： 17.220.20电学、磁学、电和磁的测量 - 电和磁量值的测量
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 信息产业专用材料质量监督检验中心、 中国电子技术标准化研究院、 苏州晶瑞化学有限公司、 天津中环领先材料技术有限公司

起草人： 李雨辰、 何秀坤、 刘筠、 刘兵、 李翔

标准简介

本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱:入射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域;光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间;装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上

相似标准/计划/法规
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最后更新时间 2025-09-06