归口单位: 全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
起草单位: 武汉材料保护研究所、 清华大学、 株洲钻石硬质合金厂、 西安西电高压开关有限公司、 重庆市计量质量检测研究院、 东莞市五株电子科技有限公司、 深圳市发斯特精密技术有限公司
起草人: 李健、 邵天敏、 段海涛、 刘秀生、 陈利、 马博
本标准规定了通过扫描电子显微镜(SEM)检测金属试样横截面局部厚度的方式测量金属涂层厚度的方法。它通常是一种破坏性的检测方式,不确定度小于10%,或者0.1 μm。该测量方法也可以用来测量几个毫米厚的涂层,但是对于这类厚涂层建议采用光学显微镜法(GB/T 6462)进行测量
最后更新时间 2025-09-06