被代替 GB/T 34504-2017
蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法 Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

起草单位： 天通控股股份有限公司

起草人： 康森、 宋岩岩、 邵峰、 沈瞿欢、 於震杰

标准简介

本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号(除去铝和氧)，且面密度在10^9 atoms/cm^2～10^15atoms/cm^2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行

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最后更新时间 2025-09-06