归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位: 四川鑫通新材料有限责任公司、 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、 四川鑫炬新兴新光源材料有限公司、 东莞市技顶电子科技有限公司
起草人: 钱幼平、 熊洲、 唐大林、 薛抗美、 黄修康、 侯龙超、 张强
本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝(以下简称高纯氧化铝),其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧化铝可参照本标准执行。高纯氧化铝的分子式为Al2O3,相对分子质量为101.96,晶型为α
最后更新时间 2025-09-06