现行 GB/T 33763-2017
蓝宝石单晶位错密度测量方法 蓝宝石单晶位错密度测量方法 Test method for dislocation density of sapphire single crystal
发布日期：2017-05-31
实施日期：2017-12-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： H25冶金 - 金属理化性能试验方法 - 金属化学性能试验方法
ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、 中国科学院上海光学精密机械研究所、 深圳市中安测标准技术有限公司

起草人： 薛抗美、 黄修康、 杭寅、 尹继刚、 田野、 张永波、 张毅

标准简介

本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。本标准适用于抛光加工后位错密度为0个/cm^2～100 000个/cm^2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为{0001},{1120},{1012}.{1010}面

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最后更新时间 2025-09-06