归口单位: 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
起草单位: 南京天加环境科技有限公司、 苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、 苏州华泰空气过滤器有限公司、 苏州市计量测试研究所、 爱美克空气过滤器(苏州)有限公司、 中国电子工程设计院、 苏州市恩威特环境技术有限公司、 中电投工程研究检测评定中心、 苏州净化工程安装有限公司、 北京希达建设监理有限责任公司、 北京世源希达工程技术公司、 中国标准化协会、 中天道成(苏州)洁净技术有限公司、 深圳新科特种装饰工程公司
起草人: 王尧、 娄宇、 李启东、 朱兰、 杨子强、 蔡杰、 王小兵、 徐小浩、 张利群、 吴小泉、 钱菁、 蒋乃军、 石小雷、 姜皓遐、 耿文韬、 吴益峰、 翟传明、 苏钢民、 安志星、 刘娜、 殷晓冬
本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。本标准不适用于核能和军事应用
最后更新时间 2025-09-06