归口单位： 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
起草单位： 中电投工程研究检测评定中心、 苏州市计量测试研究所、 深圳市亿天净化技术有限公司、 中天道成（苏州）洁净技术有限公司、 常州祥明智能动力股份有限公司、 苏州净化工程安装有限公司、 苏州市华宇净化设备有限公司、 苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、 中国标准化协会、 北京世源希达工程技术有限公司、 北京希达建设监理有限责任公司、 上海德威净化设备工程有限公司、 深圳新科特种装饰工程公司、 中国电子学会洁净技术分会
起草人： 王尧、 张利群、 陈霖新、 张俊峰、 杨子强、 蒋乃军、 夏群艳、 姜皓遐、 张敏、 高正、 徐火炬、 石小雷、 苏钢民、 王鸿明、 王大千、 殷晓冬、 谭军、 王样、 杨新宇
本标准给出了洁净室及相关受控环境的检测要求、基本仪器配置和技术要求。本标准适用于洁净室及相关受控环境的检测技术分析与应用
最后更新时间 2025-09-06