现行 GB/T 5252-2020
锗单晶位错密度的测试方法 锗单晶位错密度的测试方法 Test method for dislocation density of monocrystal germanium
发布日期：2020-06-02
实施日期：2021-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： H21冶金 - 金属理化性能试验方法 - 金属物理性能试验方法
ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 有研光电新材料有限责任公司、 北京国晶辉红外光学科技有限公司、 国合通用测试评价认证股份公司、 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、 中国电子科技集团公司第四十六研究所、 广东先导稀材股份有限公司、 中锗科技有限公司、 义乌力迈新材料有限公司

起草人： 张路、 冯德伸、 马会超、 普世坤、 姚康、 刘新军、 郭荣贵、 向清华、 韦圣林、 黄洪伟文

标准简介

本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。本标准适用于{111},{100}和{113)面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0cm^(-2)～100000cm^(-2)

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最后更新时间 2025-09-07