现行 GB/T 38614-2020
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
发布日期：2020-04-28
实施日期：2020-11-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： N10仪器、仪表 - 工业自动化仪表与控制装置 - 工业自动化与控制装置综合
ICS分类： 01.040.39词汇 - 精密机械、珠宝 (词汇)
研制信息

归口单位： 全国电子测量仪器标准化技术委员会(TC153)

起草单位： 沈阳建筑大学、 三英精控（天津）仪器设备有限公司、 广东工业大学、 中国计量科学研究院、 苏州昊通仪器科技有限公司、 沈阳理工大学

起草人： 须颖、 戴敬、 邵萌、 安冬、 施玉书、 贾静、 戴超、 文杰、 石怀涛

标准简介

本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台(以下简称为平台)的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用

相似标准/计划/法规
铰链柔性驱动器纳米扫描

最后更新时间 2025-09-07