现行 GB/T 38447-2020
微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-07-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： L55电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微电路综合
ICS分类： 31.200电子学 - 集成电路、微电子学
研制信息

归口单位： 全国微机电技术标准化技术委员会

起草单位： 北京大学、 中机生产力促进中心、 北京智芯传感科技有限公司、 沈阳国仪检测技术有限公司、 浙江博亚精密机械有限公司、 中北大学、 北京必创科技股份有限公司

起草人： 张威、 张亚婷、 于振毅、 陆学贵、 朱悦、 石云波、 李海斌、 程逸轩、 周浩楠、 陈得民

标准简介

本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验

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最后更新时间 2025-09-07