现行 GB/T 38616-2020
纳米定位与扫描平台术语 纳米定位与扫描平台术语 Terminology for nano positioning and scaning stage
发布日期：2020-04-28
实施日期：2020-11-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： N10仪器、仪表 - 工业自动化仪表与控制装置 - 工业自动化与控制装置综合
ICS分类： 01.040.39词汇 - 精密机械、珠宝 (词汇)
研制信息

归口单位： 全国电子测量仪器标准化技术委员会

起草单位： 沈阳建筑大学、 三英精控（天津）仪器设备有限公司、 广东工业大学、 中国计量科学研究院、 苏州昊通仪器科技有限公司、 沈阳理工大学

起草人： 须颖、 戴敬、 安冬、 邵萌、 施玉书、 贾静、 戴超、 文杰、 王贺

标准简介

本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义

相似标准/计划/法规
GB/T 38614-2020
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
2020-04-28
纳米术语扫描定位平台

最后更新时间 2025-09-07