归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所、 云南鑫耀半导体材料有限公司、 广东先导微电子科技有限公司、 有研国晶辉新材料有限公司、 有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人： 孙聂枫、 李晓岚、 王阳、 刘惠生、 惠峰、 李素青、 朱刘、 王书杰、 邵会民、 周铁军、 史艳磊、 付莉杰、 王博、 张晓丹、 姜剑、 王宇
本文件规定了磷化锢单晶的牌号、技术要求,试验方法,检验规则,标志,包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化锢单晶锭及磷化锢单晶抛光片
最后更新时间 2025-09-07