归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所、 有研国晶辉新材料有限公司、 有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人: 孙聂枫、 王阳、 李晓岚、 刘惠生、 李素青、 王书杰、 邵会民、 史艳磊、 张路、 许兴、 付莉杰、 张晓丹、 姜剑
本文件规定了磷化镣单晶的牌号,技术要求、试验方法,检验规则,标志,包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。本文件适用于制作光电、微电及声光器件用的磷化家单晶锭及磷化家单晶研磨片
最后更新时间 2025-09-07