归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位： 中国电子技术标准化研究院、 杉金光电（南京）有限公司、 杉金光电（广州）有限公司、 深圳市三利谱光电科技股份有限公司、 杉金光电技术（张家港）有限公司、 湖南谱特光电科技有限公司、 佛山纬达光电材料股份有限公司、 TCL华星光电技术有限公司、 深圳市海思通光电科技有限公司、 深圳市盛波光电科技有限公司
起草人： 吴怡然、 朱志勇、 赵俊莎、 刘革芳、 滕海涛、 肖志强、 李俊涛、 孟诗瑶、 曹可慰、 霍丙忠、 石婉玲、 刘日明、 敖雪丽、 吕龙腾、 史泽远、 邓崇浩、 冯艳丽、 张宝帅、 王海珊、 李望来、 曹俊伟、 鄞泽龙、 张广华、 陈敏、 李东英
最后更新时间 2025-09-07