T/BEA 40002-2022 标准详情
T/BEA 40002-2022
现行
微波ECR等离子体发生器校准规范
Calibration Specification for Microwave ECR Plasma Generator
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标准状态
标准信息
主要技术内容
本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
起草单位
北京东方计量测试研究所
起草人
贾军伟、邓星亮、柴昊、刘民、武宇婧
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