T/CASAS 019-2021 标准详情
T/CASAS 019-2021
现行
微纳米金属烧结体电阻率测试方法 四探针法
Test method for resistivity of micro and nano metal sintered compact: four probe method
标准内容导航
标准状态
标准信息
适用范围
本文件规定了第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试方法。 本文件适用于第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试评价；此烧结体不包含烧结件的被连接件（如芯片）、连接基体。 本方法适用于直径大于探针间距10倍、厚度小于探针间距4倍的微纳米金属烧结体圆形样品体积电阻率的测试，不适用于薄膜样品方块电阻的测试。
主要技术内容
本文件规定了第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试方法。本文件适用于第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试评价；此烧结体不包含烧结件的被连接件（如芯片）、连接基体。本方法适用于直径大于探针间距10倍、厚度小于探针间距4倍的微纳米金属烧结体圆形样品体积电阻率的测试，不适用于薄膜样品方块电阻的测试。
起草单位
北京半导体照明科技促进中心、南方科技大学、有研粉末新材料股份有限公司、北京康普锡威科技有限公司、上海贺利氏工业技术材料有限公司、国家纳米科学中心、广州四探针科技有限公司、哈尔滨理工大学、工业和信息化部电子第五研究所、中国科学院微电子研究所、复旦大学、深圳基本半导体有限公司、广东工业大学、西安交通大学、重庆大学、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟、BOSCHMANTECHNOLOGY
起草人
张国旗，叶怀宇、刘旭、张靖、张敬国、赵朝晖、梁明会、刘洋、王可、唐宏浩、周斌、樊嘉杰、刘盼、张凯、王来利、田天成、赵璐冰、高伟
相似标准推荐
行业标准
YY/T 1014-2021
现行
牙科学 牙探针
行业标准
SJ/T 10315-1992
现行
四探针探头通用技术条件
国家标准
GB/T 26074-2010
现行
锗单晶电阻率直流四探针测量方法
Germanium monocrystal-measurement of resistivity-DC linear four-point probe
国家标准
GB/T 1551-2021
现行
硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法
Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method
国家标准
GB/T 43845-2024
现行
基于扫描氮-空位探针的微弱静磁场成像测量方法
A weak static magnetic field imaging method based on scanning nitrogen-vacancy probe
国家标准
GB/T 15394-1994
现行
多探针测试台通用技术条件
General specification for probe tester
国家标准
GB/T 39518-2020
现行
产品几何技术规范（GPS） 使用单探针和多探针接触式探测系统坐标测量机的检测不确定度评估指南
Geometrical product specifications (GPS) — Guidelines for the evaluation of coordinate measuring machine (CMM) test uncertainty for CMMs using single and multiple stylus contacting probing systems
行业标准
SJ/T 10314-1992
现行
直流四探针电阻率测试通用技术条件
行业标准
SJ/T 10481-1994
现行
硅外延层电阻率的面接触三探针方法
行业标准
SN/T 5315-2021
现行
光催化自洁陶瓷性能测试方法 荧光探针法
行业标准
SN/T 3399-2012
现行
大豆茎溃疡病菌检疫鉴定方法--TaqMan MGB探针实时荧光PCR检测方法
地方标准
DB22/T 3089-2019
现行
羊传染性脓疱病毒检测 荧光PCR探针法
行业标准
YY/T 0172-2014
现行
子宫探针
国家标准
GB/T 29190-2012
现行
扫描探针显微镜漂移速率测量方法
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
行业标准
YS/T 602-2017
现行
区熔锗锭电阻率测试方法 两探针法
行业标准
JY/T 0582-2020
现行
扫描探针显微镜分析方法通则
国家标准
GB/T 16857.5-2017
现行
产品几何技术规范（GPS） 坐标测量机的验收检测和复检检测 第5部分：使用单探针或多探针接触式探测系统的坐标测量机
Geometrical product specifications(GPS)—Acceptance and reverification tests for coordinate measuring machines (CMM)—Part 5:CMMs using single or multiple stylus contacting probing systems
行业标准
YD/T 4705-2024
现行
网络空间安全仿真 网络采集探针实施技术要求
T/CFA 0203115-2021
现行
粘结剂喷射成形砂质铸造模样技术要求
Technical requirements for sand-base pattern of casting by binder jetting
下载电子版
正在请求下载信息...