T/CATSI 09010-2021 标准详情
T/CATSI 09010-2021
现行
光学真空腔体洁净度检测规范
标准内容导航
标准状态
标准信息
主要技术内容
第 3章 术语、定义和缩略语为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。第4章 真空腔体污染物本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等。第5章 洁净度标准本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。第6章 检测准备本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求。第7章 检测与结果本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求。附录A附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔A RGA质谱结果示例、腔B RGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例。
起草单位
北京大学、广东省新兴激光等离子体技术研究院、上海交通大学、北京世华尖锋科技有限公司、埃地沃兹贸易（上海）有限公司、北京中凯威科技发展有限责任公司、北京欣瑞拓科技有限公司、上海米雾环保技术有限公司、北京锐德康科技有限公司
起草人
赵家瑞、马文君、颜学庆、朱昆、林晨、赵研英、袁忠喜、徐圣宣、耿易星、牛化瑞、陈式有、高营、寿寅任、王科栋、陈黎明、陈民、王贵毅、许坚、张殿伟、杨大荥、李昂、莫一心
相似标准推荐
行业标准
JB/T 9427.2-2016
现行
电影检验片 第2部分：16mm电影单声道光学声带检验片 技术条件
行业标准
HG/T 4360-2012
现行
电影 黑白光学声音底片和高反差正片 感光度测定方法
行业标准
JB/T 8226.3-1999
现行
光学零件镀膜 外反射膜
国家标准
GB/T 33048-2016
现行
偏振片 光学补偿值的测定
Polarizing film—Test method of optical retardation
地方标准
DB13/T 6077-2025
现行
便携式移动终端用挖孔屏孔区光学特性测试方法
国家标准
GB/T 36297-2018
现行
光学遥感载荷性能外场测试评价指标
Field test characteristics of optical remote sensing payload
行业标准
JB/T 9495.4-1999
现行
光学晶体应力双折射测量方法
国家标准
GB/T 18311.5-2003
现行
纤维光学互连器件和无源器件 基本试验和测量程序 第3-5部分:检查和测量 衰减对波长的依赖性
Fibre optic interconnecting devices and passive components--Basic test and measurement procedures--Part 3-5:Examinations and measurements--Wavelength dependence of attenuation
国家标准
GB 23719-2009
现行
眼科光学和仪器 光学助视器
Ophthalmic optics and instruments - Optical devices for enhancing low vision
国家标准
GB/T 37908-2019
现行
基于光学椭偏成像的无标记蛋白质芯片分析方法通则
General analysis regulation of the label-free protein microarray based on imaging ellipsometry
行业标准
JB/T 9495.1-2015
现行
光学晶体 第1部分：技术条件
行业标准
JB/T 7398.2-1994
现行
显微镜 光学连接尺寸
国家标准
GB/T 11297.12-2012
现行
光学晶体消光比的测量方法
Test method for extinction ratio of optical crystal
国家标准
GB/T 35923-2018
现行
光学功能薄膜 三醋酸纤维素酯(TAC)膜 增塑剂含量测定方法
Optical functional film—Cellulose triacetate(TAC) film—Determination of plasticizer content
国家标准
GB/T 18310.21-2002
现行
纤维光学互连器件和无源器件 基本试验和测量程序 第2-21部分:试验 温度-湿度组合循环试验
Fibre optic interconnecting devices and passive components--Basic test and measurement procedures--Part 2-21:Tests--Composite temperature-humidity cyclic test
国家标准
GB/Z 20648-2006
现行
电子成像 擦除记录在一次写入光学介质上的信息的推荐方法
Electronic imaging - Recommendations for the expungement of information recorded on write-once optical media
T/GVS 011-2023
现行
光学真空镀膜职业技能培训规范
Training specification for professional skills of optical vacuum coating
国家标准
GB/T 18310.9-2003
现行
纤维光学互连器件和无源器件 基本试验和测量程序 第2-9部分:试验 冲击
Fibre optic interconnecting devices and passive components--Basic test and measurement procedures--Part 2-9:Tests--Shock
地方标准
DB51/T 3235-2024
现行
锂电材料中磁性颗粒的测定 光学显微镜法
国家标准
GB/T 12053-1989
现行
光学识别用字母数字字符集 第一部分:OCR-A 字符集印刷图象的形状和尺寸
Alphanumeric character sets for optical recognition--Part 1:Character set OCR-A--Shapes and dimensions of the printed image
国家标准
GB/T 38001.51-2024
现行
柔性显示器件 第5-1部分：光学性能测试方法
Flexible display devices—Part 5-1: Measuring methods of optical performance
行业标准
JB/T 8226.8-1999
现行
光学零件镀膜 截止滤光膜
行业标准
JB/T 9312-1999
现行
光学零件 包装
国家标准
GB/T 38684-2020
现行
金属材料 薄板和薄带 双轴应力-应变曲线胀形试验 光学测量方法
Metallic materials—Sheet and strip—Biaxial stress-strain curve by means of bulge test—Optical measuring systems
国家标准
GB/T 18311.3-2001
现行
纤维光学互连器件和无源器件 基本试验和测量程序 第3-3部分:检查和测量 监测衰减和回波损耗变化(多路)
Fibre optic interconnecting devices and passive components--Basic test and measurement procedures--Part 3-3:Examinations andmeasurements--Monitoring change in attenuation and in return loss (multiple paths)
T/WSJD 18.10-2021
现行
工作场所空气中化学因素测定 甲基丙烯酸甲酯的气相色谱法
下载电子版
正在请求下载信息...