首页› 标准› T/CPIA 0065-2024

T/CPIA 0065-2024 标准详情

T/CPIA 0065-2024 现行
异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备

标准内容导航

标准状态

2024-03-10
2024-03-15

标准信息

中国光伏行业协会
否
27.160
C382 输配电及控制设备制造
tbQbw86
现行
T/CPIA 0065-2024
异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备

主要技术内容

本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。

起草单位

中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司

起草人

王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪

相似标准推荐

地方标准
DB34/T 5353-2025 现行
乡镇户外化学灭鼠管理规范
发布日期2025-11-19
实施日期2025-12-19
CCS分类C05
ICS分类11.020
行业标准
SJ/T 11829.1-2022 现行
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备
发布日期2022-10-20
实施日期2023-01-01
CCS分类L95
ICS分类31.55
国家标准
GB/T 32433-2015 现行
鞋类 化学试验方法 重金属含量的测定 微波等离子体原子发射光谱法
Footwear—Chemical test method—Heavy metal content—Microwave plasma atomic emission spectroscopy
发布日期2015-12-31
实施日期2016-07-01
CCS分类Y78
ICS分类61.060
行业标准
SN/T 2752.2-2011 现行
卫生检疫人员的自我防护规范 第2部分：化学
发布日期2011-02-25
实施日期2011-07-01
CCS分类C62
ICS分类11.020
行业标准
FZ/T 40005-2009 现行
桑/柞产品中桑蚕丝含量的测定 化学法
发布日期2009-11-17
实施日期2010-04-01
CCS分类
ICS分类
行业标准
HJ/T 70-2001 现行
高氯废水 化学需氧量的测定 氯气校正法
发布日期2001-09-11
实施日期2001-12-01
CCS分类
ICS分类
T/WSJD 18.6-2021 现行
工作场所空气中化学因素测定 二氟氯甲烷的气相色谱法
发布日期2021-09-14
实施日期2021-10-01
CCS分类
ICS分类13.100
行业标准
WS/T 229-2002 现行
尿液物理学、化学及沉渣分析
发布日期2002-04-20
实施日期2002-07-01
CCS分类C50
ICS分类11.020
地方标准
DB6531/T 025-2024 现行
岳普湖孜然标准综合体 第10部分：孜然化学调控及叶面追肥技术规程
发布日期2024-12-20
实施日期2024-12-30
CCS分类B05
ICS分类65.020.20
行业标准
GA/T 1945-2021 现行
法庭科学 常见无机炸药及其爆炸残留物检验 化学法
发布日期2021-10-14
实施日期2022-05-01
CCS分类A92
ICS分类13.31
T/WSJD 18.4-2021 现行
工作场所空气中化学因素测定 氨基磺酸铵的离子色谱法
发布日期2021-09-14
实施日期2021-10-01
CCS分类
ICS分类13.100
国家标准
GB 7956.15-2025 即将实施
消防车 第15部分：化学救援消防车
Fire fighting vehicle—Part 15: Chemical accident rescue fire fighting vehicle
发布日期2025-12-02
实施日期2027-01-01
CCS分类C84
ICS分类13.220.10
行业标准
YY/T 1174-2010 现行
半自动化学发光免疫分析仪
发布日期2010-12-27
实施日期2012-06-01
CCS分类C44
ICS分类
国家标准
GB/T 42629.2-2023 现行
国际海底区域和公海环境调查规程 第2部分：海洋化学调查
Code of practice for international seabed area and high seas environmental survey—Part 2: Marine chemical survey
发布日期2023-05-23
实施日期2023-12-01
CCS分类A45
ICS分类07.060
国家标准
GB/T 9989.4-2015 现行
搪瓷耐化学侵蚀的测定 第4部分：用圆柱形容器进行耐碱溶液侵蚀的测定
Vitreous and porcelain enamels—Determination of resistance to chemical corrosion—Part 4: Determination of resistance to chemical corrosion by alkaline liquids using a cylindrical vessel
发布日期2015-10-09
实施日期2016-05-01
CCS分类Y26
ICS分类25.220.50
行业标准
DL/T 246-2015 现行
化学监督导则
发布日期2015-04-02
实施日期2015-09-01
CCS分类G01
ICS分类71.010
行业标准
HG/T 5207-2017 现行
化学镀镍废液处理处置方法
发布日期2017-11-07
实施日期2018-04-01
CCS分类Z05
ICS分类13.030.20
行业标准
YY/T 0475-2011 现行
干化学尿液分析仪
发布日期2011-12-31
实施日期2013-06-01
CCS分类C44
ICS分类
国家标准
GB/T 46550.2-2025 即将实施
天然气 加臭剂的测定 第2部分：用电化学传感器法测定四氢噻吩含量
Natural gas—Determination of odorant—Part 2:Determination of tetrahydrothiophene by electrochemical sensor
发布日期2025-12-02
实施日期2026-07-01
CCS分类E24
ICS分类75.060
行业标准
MT 425-1995 现行
隔绝式化学氧自救器
发布日期1995-10-05
实施日期1995-12-01
CCS分类
ICS分类
行业标准
DZ/T 0064.68-1993 现行
地下水质检验方法 酸性高锰酸盐氧化法 测定化学需氧量
发布日期1993-02-27
实施日期1993-10-01
CCS分类
ICS分类
T/WSJD 18.1-2021 现行
工作场所空气中化学因素测定 氢氧化钠、碳酸钠、氢氧化钾的离子色谱法
发布日期2021-09-14
实施日期2021-10-01
CCS分类
ICS分类13.100
国家标准
GB/T 17783-2019 现行
硫化橡胶或热塑性橡胶 化学试验 样品和试样的制备
Rubber,vulcanized or thermoplastic—Chemical tests—Preparation of samples and test piece
发布日期2019-12-10
实施日期2020-11-01
CCS分类G40
ICS分类83.060
行业标准
JB/T 11732-2013 现行
化学法干式彩色墨粉
发布日期2013-12-31
实施日期2014-07-01
CCS分类G81
ICS分类37.100.20
行业标准
YY/T 1176-2010 现行
癌抗原CA15-3定量测定试剂（盒）（化学发光免疫分析法）
发布日期2010-12-27
实施日期2012-06-01
CCS分类C44
ICS分类
T/ZALI 0015-2024 现行
普通照明用LED平板灯技术规范
发布日期2024-04-10
实施日期2024-05-10
CCS分类
ICS分类29.140.40 照明设备