T/CZSBDTHYXH 001-2023 标准详情
T/CZSBDTHYXH 001-2023
现行
半导体晶圆缺陷自动光学检测设备
Wafer defects Automatic optical inspection equipment
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标准状态
标准信息
主要技术内容
本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。
起草单位
江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院
起草人
刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰
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