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T/GVS 017-2024 标准详情

T/GVS 017-2024 现行
连续式光学磁控溅射镀膜设备
Continuous optical magnetron sputtering coating equipment

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标准状态

2024-12-24
2024-12-24

标准信息

广东省真空学会
tbQbw86
现行
T/GVS 017-2024
连续式光学磁控溅射镀膜设备
Continuous optical magnetron sputtering coating equipment

主要技术内容

本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。

起草单位

广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司

起草人

朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏

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