T/ZSA 231-2024 标准详情
T/ZSA 231-2024
现行
氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
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标准状态
标准信息
主要技术内容
本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。
起草单位
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司
起草人
李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋
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