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GB/T 15861-2012 标准详情

GB/T 15861-2012 现行
离子束蚀刻机通用规范
General specification of ion beam etching system

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标准状态

2012-11-05
2013-02-15

标准信息

工业和信息化部（电子）
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
工业和信息化部（电子）
L97
国家标准
现行
GB/T 15861-2012
离子束蚀刻机通用规范
General specification of ion beam etching system

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