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GB/T 15872-2013 标准详情

GB/T 15872-2013 现行

半导体设备电源接口

Power supply interface for semiconductor equipment

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标准状态

发布日期2013-12-17

实施日期2014-05-15

标准信息

批准发布部门工业和信息化部（电子）

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口工业和信息化部（电子）

中国标准分类号L23

国际标准分类号31.220.10

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 15872-2013

标准名半导体设备电源接口

标准英文名Power supply interface for semiconductor equipment

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