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GB/T 16527-1996 标准详情

GB/T 16527-1996 现行

硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

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标准状态

发布日期1996-09-09

实施日期1997-05-01

标准信息

批准发布部门国家标准委

技术归口国家标准委

是否采用国际标准该标准采用国际标准

中国标准分类号L90

国际标准分类号31.200

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 16527-1996

标准名硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

标准英文名Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

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